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EUV光刻机

什么是EUV光刻机?

5月 8, 20215月 8, 2021 作者 Expreview超能网
8寸或者12英寸晶圆光刻过程

极紫外光刻(Extreme Ultra-violet),常称作EUV光刻,它以波长为10-14纳米的极紫外光作 … 阅读更多

分类 设备、 集成电路 标签 ASML、 EUV、 EUV光刻机、 佳能、 光刻胶、 尼康、 晶圆、 芯片

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